AG九游会卓海科技赢得晶圆传送密封庇护安装专利有用实行半导体配置援助差别尺寸晶圆

　　金融界2024年9月1日音尘，天眼查常识产权新闻显示，无锡卓海科技股份有限公司获得一项名为“晶圆传送密封庇护安装“，授权通告号CN110648952B，申请日期为2019年10月。

　　专利摘要显示，本发觉涉及晶圆传送密封庇护安装，网罗用于告竣主动密封取片的独揽台及 SMIF 传送盒，所述独揽台置于半导体设置中承载台的皮相，所述SMIF 传送盒设于独揽台上；本发觉布局简陋AG九游会，运用简单，本钱低廉，本发觉不必要外挂整套 SMIF 机构，仅仅应用载入口原有的传送机构即可告竣晶圆主动传送，其具有装配简单、体积小巧、阻滞率低的便宜，本发觉的适配性好，适当规范板滞界面规格，通过晶圆安置形态识别机构办理晶圆间距、高度、晶圆品种等身分带来的身分识别不正确题目，通过独揽台底座的可挪动性布局安排，辅助前移送片，办理 SMIF 传送盒与载入口间隔变大的题目，有用告竣了运用 12 英寸 FOUP 载入口的半导体设置赞成对 8 英寸晶圆的主动化传输和操作。